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ブライオン、次世代Tachyon 2.5プラトフォームおよびTachyon DPTを発表
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Santa Clara, California, Feb 26, 2008 - (JCN Newswire) - ASMLの子会社であるブライオンテクノロジーズ インコーポレイテッド(以下、「ブライオン」)は主力製品Tachyon計算機リソグラフィープラットフォームを更に性能向上させたTachyon 2.5を発表しました。ブライオンはさらに、先端ダブルパターニング用のTachyon DPTの販売を開始しました。この技術により、先端リソ装置で32nm以下のメモリー及びロジックのパターニングに必要となる低k1が可能となります。 Tachyon 2.5は、システムの性能強化、ファームウェアの性能向上および高速プロセッサーの採用により、半導体業界において求められている計算処理能力の増大に対応したもので、DPT等の低k1解像度強化技術(RET)の採用を支援します。Tachyon 2.5は、IT設備投資を最小に抑えながら、前世代Tachyonの150%(処理速度2.5倍)に達する大幅な性能強化を達成しています。 Tachyon DPTはブライオンの最新のダブルパターニング技術を採用しており、先端半導体メーカーが22nmテクノロジーノードまでのデバイスの開発を可能とするものです。現在すでに量産可能な段階にあり、設計からリソグラフィーまでのソリューションを提供し、リソDPT(リソ-エッチ-リソ-エッチ)とスペーサーDPTと呼ばれる2つの代表的ダブルパターニング技術を支援するものです。Tachyon DPTはチップ全面で矛盾のないパターンの分割、モデルベースOPC、モデルベースつなぎ補正及びパターン密度の自動的バランシングを行います...

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(引用 livedoorニュース)




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